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非接触搬送

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一般的な旋回流

テニスボール非接触保持回転

リンクパワー方式

テニスボール非接触静止保持


12インチダミーウェハー非接触保持


12インチ極薄ウェハー非接触保持


2インチ用チャック非接触保持


穴あき5円玉非接触保持


12インチシリコンウェハー非接触保持